产品规格�?/span>

直径

50.8mm

76.2mm

100mm

厚度

350μm

625μm

625μm

表面晶向

<100> ± 0.5°

正面状�?/p>

Epi-polished

反面状�?/p>

SSP:Etched; DSP:Epi-polished

总厚度偏差TTV

<10μm

弯曲度Bow

<15μm

边缘去除

�? mm

导电类型

N-Type

P-Type

Insulating

掺杂元素

S-doping

Zn-doping

Fe-doping

电阻玆�/p>

N/A

N/A

>0.5E7ohm-cm

位错密度(EPD)

�?000/cm²

�?00/cm²

�?000/cm²

载流子浓�?/p>

(0.8-8)*E18/cm³

(0.8-8)*E18/cm³

N/A

电子迁移玆�/p>

1000~2500cm²/v.s

50~100cm²/v.s

>1000cm2/v.s