www.188betkr.com 讯近日，滁州市人民政府发布了关于《安徽珂玛材料技术有限公司半导体设备用碳化硅材料及部件项目环境影响报告表》受理公示。
来源：中新苏滁高新技术产业开发区官网
文件显示，安徽珂玛科技将在滁州市中新苏滁高新技术产业开发区苏滁现代工业坊陆号厂房进行扩建，项目建成后可年产290吨机械设备换热防腐部件和10吨半导体设备用碳化硅陶瓷部件，目前，年产180吨机械设备换热防腐部件和8吨半导体设备用碳化硅陶瓷部件生产装置已建成，已通过自主验收并完成排污许可登记。由于6号厂房空间限制，剩余110吨机械设备换热防腐部件和2吨半导体设备用碳化硅陶瓷部件生产线不再建设。
碳化硅凭借其优异的高温力学强度、高硬度、高弹性模量、高耐磨性、高导热性、耐腐蚀性等性能，成为用途最广的陶瓷材料之一。尤其是在半导体装备领域，装备制造是半导体产业的核心组成部分，在某种意义上装备的先进程度可以代表整个国家的工业发展水平。精密陶瓷作为不可或缺的零部件材料，已经被引入到各种半导体装备之中，碳化硅陶瓷即是其中的代表，尤其是在光刻机、刻蚀机等最顶尖的设备中，碳化硅陶瓷部件被大量使用。
近年来随着全球半导体产业的快速发展和国产化进程的推进，展现出广阔的发展前景。在此背景下，为满足不断扩大的市场需求，公司拟投资6542.42万元建设“半导体设备用碳化硅材料及部件项目”。本次扩建调浆工艺增加真空搅拌设备，使浆料调配得更加均匀，可进一步提高产品质量，其余工艺与现有相同，新增半导体设备用碳化硅陶瓷部件11000件/年（约8吨/年）。
据悉，安徽珂玛材料技术有限公司是苏州珂玛材料科技股份有限公司的子公司，成立于2022年11月，主要从事碳化硅晶舟、碳化硅炉管等高精密陶瓷部件以及各种专业设备的设计制造。
近些年，珂玛科技掌握了从材料配方到零部件制造的先进陶瓷全工艺流程技术，目前已量产氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化钇和氧化钛6大类先进陶瓷材料，累计设计开发了一万余款定制化零部件。
2025年上半年，珂玛科技半导体领域结构件产品销售收入比去年同期增长66.06%。其中静电卡盘与超高纯碳化硅套件也逐步量产，并在上半年形成了一定的收入。其超高纯碳化硅套件产品纯度高达99.99%，缺陷密度控制在每平方厘米不超过1个，技术指标达到国内领先水平。
在碳化硅零部件的产业布局上，7月22日，珂玛科技拟以1.02亿元现金收购苏州铠欣73%的股权。苏州铠欣在CVD碳化硅陶瓷零部件领域技术深厚，其产品已在Si外延、SiC外延、GaN外延等多个领域实现规模化应用，碳化硅刻蚀环、碳化硅喷淋头、12英寸Si外延用碳化硅涂层石墨基座等先进产品的开发也取得了良好进展。
同时，珂玛科技位于江苏苏州的先进材料生产基地已正式投产，重点布局陶瓷加热器、静电卡盘及超高纯碳化硅套件等“结构-功能”一体化模块产品。
此次扩建项目将进一步提升安徽珂玛在半导体设备用碳化硅陶瓷部件领域的生产能力，满足市场对高精密陶瓷部件的不断增长需求，推动半导体产业的发展。
来源：中新苏滁高新技术产业开发区官网、珂玛科技公告、粉体网
（www.188betkr.com 编辑整理/空青）
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