【原创【�/font>2026中国半导体设备陶瓷零部件上市企业

中国粉体网讯

苏州珂玛材料科技股份有限公司

苏州珂玛材料科技股份有限公司（简称：珂玛科技）是一家专注于先进陶瓷材料和零部件及相关技术和产品开发、生产及服务的企业。经过多年的技术积累，公司已构建起由氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化钇和氧化钛六大类材料组成的先进陶瓷基础材料体系、�/p>

珂玛科技的先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造的前道工序，覆盖了刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等核心环节。公司早期主要提供圆环圆筒、气流导向、手爪垫片等结构件产品。随着研发的深入，公司开始在陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等“卡脖子”产品上发力、�/p>

来源：珂玛科技2025年半年报

2025年，珂玛科技完成陶瓷加热器产线的搬迁工程，并持续完善相关配套设施，推动该产品产能于年内逐步释放。量产的陶瓷加热器主要供应国内半导体晶圆厂商及主流设备厂商，可装配于SACVD、PECVD、LPCVD、ALD、PVD和激光退火设备，其中部分陶瓷加热器产品已量产并应用于晶圆薄膜沉积生产工艺流程。同时，静电卡盘及超高纯碳化硅套件也已实现小批量出货与客户交付。下半年，珂玛科技收购凯欣半导体，进一步丰富和完善碳化硅陶瓷材料和零部件领域的产品布局，形成更加全面、完整的碳化硅材料体系和半导体陶瓷零部件体系、�/p>

河北中瓷电子科技股份有限公司

河北中瓷电子科技股份有限公司（简称：中瓷电子）成立于2009年，是中电科十三所控股公司，国内领先的电子陶瓷公司，主要聚焦在电子陶瓷新材料、半导体多层陶瓷封装技术研发和产品生产，拥有多条完整的陶瓷基板和外壳生产线，是国内规模最大的高端电子陶瓷外壳制造商、�/p>

中瓷电子精密陶瓷产品

2021年，中瓷电子布局半导体精密陶瓷领域，2023年精密陶瓷零部件销售收入同比有大幅增长。目前公司已全面突破静电卡盘材料、设计和工艺各环节，已达到国际同类产品水平并通过用户验证并批量供货；静电卡盘技术参数对标国际同类产品水平并通过用户上机验证，已有多款产品进入批量供货阶段，赢得头部客户高度认可、�/p>

潮州三环（集团）股份有限公司

三环集团成立�?970年，公司聚焦于电子产业链的上游基础材料，主要包括氧化铝陶瓷基板、氮化铝陶瓷基板、电子浆料及固体氧化物燃料电�?SOFC)隔膜片等。在半导体领域，三环集团的技术积累和沉淀，为半导体陶瓷部件的研发提供了先决的技术条件。从2013年开始三环集团就研制陶瓷劈刀，是国内首家突破陶瓷劈刀各项技术难点的厂商，产品性能达行业平均水平、�/p>

目前，三环集团生产以电子工业为首的各种工业用高性能和高精度精密陶瓷结构件。其中应用于泛半导体精密陶瓷结构件有沉积室衬垫、刻蚀环、刻蚀窗口、搬运臂、喷嘴、静电卡盘。同时，公司开发泛半导体精密陶瓷结构件，为客户提供优质的服务与增值产品、�/p>

上海正帆科技股份有限公司

正帆科技成立�?009年，专注于半导体、泛半导体行业的设备及材料供应，包括气体/化学品输送系统、电子级材料等，客户覆盖集成电路、平板显示、生物医药等领域。公司产品广泛适用于不同制程的半导体工艺设备，已经向国内头部半导体设备厂商（新凯来、北方华创、拓荆科技、中微公司、屹唐股份、微导纳米等）批量供货、�/p>

2025�?月，正帆科技完成对汉京半导体股权的收购，推动了核心零组件业务的拓展。汉京半导体拥有高精密石英和先进陶瓷材料制造技术，主要产品包含石英管、石英舟、石英环、碳化硅陶瓷舟、碳化硅陶瓷管、碳化硅陶瓷保温筒等、�/p>

10�?日，汉京里达新工厂高端产线正式投产，总产能达20亿，该项目总投资约10亿元，投产的高端产线包含两大核心产能：国内第一条对�?0纳米以下先进制程的极高纯石英生产线，以及国内首条半导体碳化硅零部件生产线。这两条生产线产出的产品，解决的是我国半导体产业链断点、卡点的问题，将极大提升国内高端碳化硅、石英零部件的自主供应能力、�/p>

昆山国力电子科技股份有限公司

国力电子专业从事电子真空器件的研发、生产与销售，公司经过六十多年的技术沉淀，自主研发能力和核心技术覆盖了电真空器件生产制造的各关键环节，产品广泛应用在航空航天、雷达通讯、半导体设备、新能源汽车、轨道交通、煤炭化工、新能源等领域、�/p>

在半导体设备制造领域，公司是国内半导体设备电子器件发展较早的供应商之一，主要生产用于半导体设备中射频电源的真空电容器及真空继电器。其中，陶瓷高压真空继电器、陶瓷真空电容器已应用于刻蚀机等半导体设备中的匹配器等单元�?024年，公司与北方华创、中微公司、H公司及其他国内外头部半导体设备制造商的产品验证取得阶段性进展，�?4年的供货量有所增加、�/p>

沈阳富创精密设备股份有限公司

富创精密成立�?008年，深耕精密零部件制造领域，作为国内半导体设备精密零部件制造领域的领军企业，其产品矩阵全面覆盖工艺零部件、模组、气体管路等核心领域，广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、光刻等关键设备环节、�/p>

在陶瓷零部件方面，富创精密自身在陶瓷喷涂等关键领域有�?0年的技术储备，在客户端已经实现快速商业供给的能力�?025�?月，富创精密通过收购新加坡Compart公司，有效补强了气体传输系统领域的技术短板。Compart公司拥有35年技术积淀，其TriClean特种表面处理技术可使零部件耐腐蚀性能提升2.5-11倍，与富创精密自主开发的陶瓷喷涂技术形成协同效应，共同推动7nm以下制程零部件的技术创新、�/p>

2024年，富创精密完成对北京亦盛精密的战略收购，成功切入碳化硅零部件赛道，进一步完善了半导体设备产品矩阵。亦盛精密成立于2015�?月，持续聚焦于为集成电路存储、逻辑等晶圆制造厂提供硅、石英、碳化硅等脆性材料为基材的零部件研发、生产及销售。是国内存储、逻辑头部客户的战略供应商，国内主�?2寸客户实现全覆盖，核心产品已批量应用在先进制程。其自研的CVD工艺的碳化硅材料及产品在国内率先实现国产替代，已批量供应国内主流晶圆厂及先进制程，核心技术指标显著优于海外同业、�/p>

宁波江丰电子材料股份有限公司

江丰电子创建�?005年，专业从事超大规模集成电路制造用超高纯金属材料及溅射靶材的研发生产，是国家科技部、发改委及工信部重点扶植的高新技术企业，主要专注于超高纯金属溅射靶材、半导体精密零部件的研发、生产和销售、�/p>

半导体精密零部件业务是江丰电子的第二增长曲线，公司为加强了在半导体精密零部件领域的战略布局，投入了大量资源用于新品研发、人才培养、装备购置、基地建设等�?024年，江丰电子与韩国KSTE签署合作协议，公司拟向KSTE引进静电吸盘生产技术及采购静电吸盘生产线。公司已通过“引�?自研”模式推进静电吸盘国产化�?025年起已实现代理销售，并与多家国内知名半导体设备公司、芯片制造商开展产品评价验证，截至2025�?0�?1日已签订超过5000万元销售订单、�/p>

中国台湾精材股份有限公司

台湾精材创立�?997�?月，2025�?�?5日以每股35元新台币挂牌上市！公司专注于制造半导体制程设备所需的关键耗材，具备半导体陶瓷材料制作、脆性材料精密加工及表面处理、零件清洗与刻蚀三大核心技术能力，产品主要为精密陶瓷、石英、硅三大类，主要应用在半导体前段刻蚀与薄膜沉积等严苛制程设备环境中，具有抗腐蚀、抗电浆、耐高温；高纯度、高密度、高洁净度的高标准特性，有效降低微粒风险，以满足半导体制程的严苛需求，并提升晶圆生产良率，故产品品质已能与国际大厂并驾齐驱、�/p>

来源：各公司官网、财�?/p>

（中国粉体网编辑整理/空青（�/p>

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