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产品详情
12 英寸硅单晶生长炉
产品简今/div>
技术参?/h4>
项目 |
参数 |
单位 |
XINHUI |
晶棒长度 |
· 2100 |
mm |
2100 |
晶棒直径 |
· 308 |
mm |
308 |
碳含野/span> |
· < 0.30 |
ppma |
0.10 |
晶体 |
· COP 26nm (no pattern) |
% |
>85 |
体金屝br style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box;"/> |
· Bulk Metal Cu |
atom/cm3 |
1E11 |
· Bulk Metal Ni |
atom/cm3 |
1E10 |
|
· Bulk Metal Fe |
atom/cm3 |
Ave 2E9；Max 1E10 |
|
提拉轴与坩埚轴对中偏?/span> |
· 多次开合操作后 |
mm |
± 1 |
· 承载?-400kg 范围内变匕/span> |
mm |
± 1 |
|
液面位置跟踪控制精度 |
- |
mm |
±0.2 |
晶体直径控制精度 |
- |
mm |
±2.0 |
投料量（含二次加料） |
- |
KG |
400 |
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