仪器简今�/span>９�/span>EPIC离子/分子分析质谱�?/span>(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是带脉冲离子计数和四级杆偏压控制的三级过滤四极质谱仪，用于高精密科学分析，过程研究以及中性粒子、自由基、正负离子的UHV分析、�/span>

EPIC离子/分子分析质谱仪可增加能量过滤器�?/span>Bessel Box能量分析器或45��扇形能量分析器，升级臲�/span>Hiden皃�/span>Plasma/ SIMS系列EQP＋�/span>EQS＋�/span>PSM咋�/span>Maxim、�/span>

主要特点９�/span>��6�?/span>9�?/span>12 mm直径的四极杆可逈�/span>

����100 eV离子能量分布＋�/span>1000 eV可逈�/span>

��离子源控制，以实现软离子化及表观电势质谱

��脉冲离子计数器，连续7个数量级动态范围，Faraday选项丹�/span>5x10¹⁰

��一级过滤处增加射频，增强抗污染物能劚�/span>

��信号选通分辨率0.1��s，用于能量、质量分布随时间变化戕�/span>TOF研究�?/span>

��程序升温脱附时，温度数值同步显礹�/span>

��标配UHV罩，液氮冷却罩可逈�/span>

��MASsoft专业软件控制

��可升级至Plasma/ SIMS配置

技术规格：��质量数范围：1｝�/span>300 amu（标准配置）

500�?/span>1000�?/span>2500 amu（选配（�/span>

��测量速度９�/span>500 points/s

��分辨率：0.1%Valley�?/span>1%Valley

��动态范围：10⁷

��*低检测分压：5 X 10^-15mbar＋�/span>1X10^-16mbar

��离子能量９�/span>��100eV（标准配置）

��1000eV（选配（�/span>

��信号选通分辨率９�/span>0.1��s

��稳定性：24h以上，峰高变化小亍�/span>��0.5%

3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)