仪器简介：

HIDEN RGA/3F/PIC 系列残余气体分析四极质谱�?Residual Gas Analysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析�?-50amu高分辨四极杆质谱、�/p>

�� 残余气体或泄漏检浊�/p>

�� 实际泄漏或脱附分枏�/p>

�� 除气研究

�� 烘烤周期

�� 泵效胼�/p>

�� 腔室/过程气体污染�?/p>

主要特点９�/strong>

�� 灵敏度PPM，质量数�?00amu

�� 稳定性（24小时以上，峰高变化小�?#177;0.5%（�/p>

�� MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制

��阈值离子化模式分析D2/He

�� 快速显示柱状图、趋势分析和信号�?/p>

�� 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰

�� 同步显示数据图，列表

�� 同步背景扣除，自动质量数列表

�� 数据输出为ASCII格式，至windows设备

�� 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例妁�/p>

�� Excel、SPC-IV统计过程控制软件筈�/p>