仪器简介：

ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是***可靠的朗缪尔探针（Langmuir Probe）�

技术参数：

应用�

�� 蚀�?沉积/ 清洁等离子体

�� 脉冲等离子体操作

�� 离子密度 (Ni & Gi)

�� 电子温度(Te)

�� 电子能量分布(EEDF)

�� 电子密度(Ne)

�� 等离子体电位

�� Debye 长度，悬浮电�

主要特点９�/strong>

�� 获得数据速度：每�?5次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分�

�� Hiden在被动射频补偿方面处�?*地位，在所有的商业化探针中 ESPion �

�?*的屏蔽阻�?4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)

�� 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频�

�� 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室

内腔阳极氧化所�? 或噪�?例如，供电源引起)

�� ESPion 是所有商业化探针�?快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所�

必需的标准脉冲选通电�

�� 300�?00�?15mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀� 90��探针，组合式

线性－旋转驱动器可�

�� 自清洗循环，防止探针尖端污染

�� 经由RS232、RS485、Ethernet LAN � ESPsoft软件控制