北京英格海德分析技术有限公号/div>
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仪器简今/span>9/span>HALO 201 MBE分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析、/span>

该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成,并能在分子束外延环境中长期使用、/span>

主要特点9/span>钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命

抗污染离子源护罩

双法拉第/ channelplate电子倍增?/span>

技术规格:质量数范围:1}/span>300 amu

扫描速度9/span>100amu/s

*小扫描步阶:0.01amu

灵敏度:0.1 ppm}/span>1ppm

稳定性:24h以上,峰高变化小亍/span>0.5%

*小检测分压:2 x 10-13mbar

**工作压力9/span>1 x 10-4mbar

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

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