仪器简介：

IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe），自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒�?

独有的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质�?*化监�?

技术参数：

应用�

? 终点检测（End Point Detection�

? 靶的纯度鉴定

? 质量控制/ SPC.

? 残余气体分析

? 泄漏监测

主要特点９�/strong>

特点�

? 高灵敏度� SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器

? 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu

? 差式泵歧管，经连接法兰，接到过程�

? 离子光学器件，带能量分析器和内置离子�

? Penning规和互锁装置，以提供过压保护

? 数据系统与过程控制工具整�

? 稳定�?24h以上，峰高变化小� ��0.5%)

? 通过 RS232、RS485或以太网� 软件MASsoft控制

? 程控DDE� 平行数字式I/O� RS232通讯