仪器简介：

EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On� probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采�?*技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室、�/p>

技术参数：

应用９�/p>

�� 静� /动态SIMS

�� 一般目的的表面分析

�� 整体的前端离子源，便于RGA� SNMS

�� 兼容的离子枪/ FAB �

�� 成分/污染物分�

�� 深度分析

�� 泄漏检浊�/p>

�� 与Hiden SIMS 工作站兼宸�/p>

主要特点９�/strong>

�� 高灵敏度脉冲离子计数检测器�?个数量级的动态范図�/p>

�� SIMS 成像，分辨率在微米以�

�� 光栅控制，增强深度分析能劚�/p>

�� 45��静电扇形分析器， 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.

�� 所有能量范围内，离子行程的*小扰动，及恒定离子传辒�/p>

�� 差式�?级过滤四极杆，质量数范围�?500amu

�� 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

�� Penning规和互锁装置可提供过压保抣�/p>

�� 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软� MASsoft控制