仪器简介：

HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物�

应用�

�� 等离子体/反应性离子蚀刻研�

�� CVD / PVD / MOCVD

�� 半导体晶片加工研�

�� 真空、等离子体过�

�� 活性物质定量分�

�� HF，HCl，HBr，CFC 研究

主要特点９�/strong>

�� 加热的电抛光波纹管，快速偶合连接器

�� 可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析

�� 高灵敏度� 5 ppb� 质量数可�?500 amu.

�� 进样压力� 1 mtorr 至大气压

�� 电容压力计，压力检测可不受分析物影�

�� 稳定性好 (24h之上，小于峰�?#177;0.5% )

�� 软件 MASsoft 控制

�� 矩阵反演，归一化及单峰参�