非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
虚拟号将 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
设备性能指标 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路?/p> | 1箠/p> |
3 | 加工晶圆尺寸 | 6-12寷/p> |
4 | 适用工艺 | 扩散(磷扩、硼扩)、氧化、退火、合金、铝预沉?/p> |
5 | 温度校准功能 | 具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能 |
6 | 控温模式 | Spike控温+Profile串级控温 |
7 | 控制系统结构 | 一体工控机+PLC |
8 | 报警保护: | 具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功胼/p> |
设备主要特点和优劾/strong>
1★具有强大的操作功能,windows界面,显示屏操作,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间;
2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化;
3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间:/p>
暂无数据