金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
非金属电热元件:
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设备性能指标 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路?/p> | 1箠/p> |
3 | 加工晶圆尺寸 | 6-12寷/p> |
4 | 适用工艺 | 扩散(镓扩)、玻璃钝化(GPP)、退火、合釐/p> |
5 | 温度校准功能 | 具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能(选配(/p> |
暂无数据
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