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设备性能指标 |
||
1 |
操作方式 |
手动 |
2 |
管路?/p> |
1箠/p> |
3 |
加工晶圆尺寸 |
4-6寷/p> |
4 |
适用工艺 |
多晶合成 |
5 |
工艺温度范围 |
800-1250ℂ/p> |
6 |
恒温区长?/p> |
300-800mm |
7 |
控温精度 |
±0.2??280℃恒温区冄/p> |
8 |
单点温度稳定?/p> |
±0.2ℂ/p> |
9 |
温度校准功能 |
具有预先写入偏差值快速拉温区功能 |
暂无数据
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