非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
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晶片尺寸:4/6/8英寸
Nafer size: 4/6/8 inches
ウェーハサイズ:4/?8インチ
制程温度范围:300-2200ℂ/p>
Maximum heater temperature: 2200ℂ/p>
プロセス温度範囲?00-2200ℂ/p>
加热?*温度:2200ℂ/p>
Maximum heater temperature: 2200ℂ/p>
ヒーター**温度?200ℂ/p>
控温段数:多段控温
Number of temperature control sections:
multisections temperature control
温度制御セクション数:多段階温度制御
炉腔压力:10MPa(**)
Chamber pressure:10MPa(Maximum)
炉室圧力?0MPa(**)
暂无数据