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型号
高真空电子束蒸发镀膜设备TEMD600品牌
北京泰科诹/span>产地
北京样本
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设备型号：TEMD600
镀膜方式：E 型电子枪
真空腔室结构：立式圆柱形侧开门结构，后置抽气系统
真空腔室尺寸：?00mm×H750mm
加热温度：室温～ 300ℂ/span>
基片台尺寸：平板 Φ350mm，或球罩型基片台 ( 可 )
膜厚不均匀性： ±5.0%
考夫曼离子源：可逈/span>
蒸发源：电子 10KW，６穴坩埚，国产／进口（可选） 配２套电阻蒸
控制方式：PLC/PC（可选）
占地面积：L2500mm×W1600mm
总功率： 17kW
大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备、/span>
1. 设备一体化设计，占地面积小，性价比高，性能稳定，使用维护成本低：/span>
2. 可用于生产线前期工艺试验等；
3. 实验室制备导电薄膜、半导体膜、光学薄膜等，可同手套箱复合使用、/span>
暂无数据
什么是钙钛矿钙钛矿（perovskite），这个有点拗口的名字取自俄罗斯矿物学家Perovski，作为光伏材料的钙钛矿，实际上和钙、钛、矿三个字都没太大关系，这是一类与钙钛矿（CaTiO3）晶体结构类
热丝CVD采用高温下的低压气相反应，碳氢化合物在高温下发生化学反应，生成膜先驱物，当样品温度合适时，这些膜先驱物在样品表面沉积形成金刚砂膜。低压化学气相沉积形成的膜层厚度及成分较为均匀，膜层致密。CV
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