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| 产品型号 | 晶圆边缘检测设?EDI |
| 应用场景 | 成型、抛先/td> |
| 检测缺陶/td> | 崩边、裂纹、划伤等边缘缺陷 |
| 检测精?/td> | 边缘?.25μm |
| 产能 | 85 WPH@300mm |
| 产品特点 | 缺陷分布、不良分类、ADC |
| 晶圆直径 | Ф6″、?″、?2″（尺寸可定制） |
暂无数据
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