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产品型号 | 晶圆表面及边缘检测设?SEDI |
应用场景 | 清洗、成型、抛先/p> |
检测缺陶/td> | Particle、划伤、崩边、裂纹、Cloud、Pit、边缘缺陶/p> Particle?.2μm;边?.25μm;Scratch9/p> |
检测精?/td> | 100um × 0.1um;Cloud?00μm ×400μm |
产能 | 85 WPH@300mm |
产品特点 | 微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC |
晶圆直径 | Ф6″、?″、?2″(尺寸可定制) |
产品型号 | 晶圆表面及边缘检测设?SEDI |
应用场景 | 清洗、成型、抛先/p> |
检测缺陶/td> | Particle、划伤、崩边、裂纹、Cloud、Pit、边缘缺陶/p> Particle?.2μm;边?.25μm;Scratch9/p> |
检测精?/td> | 100um × 0.1um;Cloud?00μm ×400μm |
产能 | 85 WPH@300mm |
产品特点 | 微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC |
晶圆直径 | Ф6″、?″、?2″(尺寸可定制) |
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