多孔陶瓷在半导体领域中的应用

中国粉体网讯多孔陶瓷是通过特殊工艺制备，内部形成三维连通或封闭孔隙结构的陶瓷制品，孔隙率通常�?0%~90%之间，孔径从纳米级到毫米级不等。凭借其独特的孔隙结构、耐高温、耐腐蚀、绝缘性好等特性，多孔陶瓷成为半导体制造中不可或缺的关键材料，对提升半导体工艺精度、良率和设备可靠性具有重要作用、�/p>

其中，真空吸盘是多孔陶瓷在半导体领域中的常见应用、�/p>

在晶圆制造环节中，陶瓷真空吸盘是半导体晶圆生产中夹持和承载的工具，具有平面度、平行度高，组织致密均匀，强度高，透气性好，吸附力均匀，易于修整等特点，适用于半导体晶圆制造的减薄、切割、研磨、清洁和处理等工序，有效解决了晶圆印痕、芯片静电击穿、Particle污染等诸多难题，在实际应用中实现了半导体晶圆片极高的加工品质。其主要由多孔陶瓷材料制作，孔径分布均匀，内部相互贯通，表面经研磨后，光滑细腻，平整性好，广泛应用于硅、蓝宝石、砷化镓等半导体晶圆的制造环节、�/p>

多孔陶瓷真空吸盘是利用真空吸附原理固定工件的承载平台，真空吸盘传递真空的部分为多孔陶瓷板，多孔陶瓷板装配在底座的沉孔中，其周边与底座粘结密封，底座为精密陶瓷或金属材料加工而成。传统真空吸盘易将薄膜材料吸入表面的空气孔内，导致薄膜材料变形、下垂、应变和边缘翘曲等问题，而采用多孔陶瓷制作的真空吸盘使用超细微米级孔和孔间距能够可靠地处理更薄、更精细的工件，可以避免上述问题。此外，在光刻制程环节中，采用黑色的真空吸盘可以减少加工时吸盘反射杂光造成的干扰、�/p>

2026�?�?0�?/strong>＋�strong>中国粉体罐�/strong>将在山东淄博举办第五届半导体行业用陶瓷材料技术大伙�/strong>、�span style="color: rgb(0, 112, 192);">山东工业陶瓷研究设计院有限公司教授级高工/产业发展中心主任赵世�?/strong>将作题为《精密多孔陶瓷及其在半导体领域的应用《�/strong>的报告。报告将系统介绍精密多孔陶瓷的材料特性、发展历程及制备工艺，阐述其在半导体领域中的典型应用，并基于当前技术瓶颈，探讨半导体领域用精密多孔陶瓷的发展思路及展望、�/p>

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赵世凯，教授级高工，中央企业青年岗位能手，泰山产业科技领军人才，建材行业高温陶瓷膜材料重点实验室副主任，国际精细陶瓷标准化技术委员会（ISO/TC206）委员。长期从事高性能多孔陶瓷/陶瓷膜技术的研发孵化、应用推广及标准化工作，在多个领域实现进口替代。先后主�?承担国家（省市）级科研项�?1项，获得国家重点新产�?项，省部级奖�?项。主持制/修订国家标准7项，授权发明专利47项、�/p>

（中国粉体网编辑整理/空青（�/p>

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