设备优势

� 采用固态蜡熔蜡方式，精确、定量滴蜡、�/p>

� 加热冷却盘内部采用精密加热和自动冷却系统，可精确控制盘面温度、�/p>

� 采用独立气缸压片方式，精密气压控制，可精准控制蜡厚、�/p>

� 贴片后的TTV�?um、�/p>

性能参数

参数名称		单位	DL-SL305A	DL-SL360A
晶圆尺寸		in	Ø4'' (Ø2''/Ø4'')	Ø6'' (Ø4''/Ø6'')
陶瓷盘尺寷�/td>		mm	Ø305x15	Ø360x15
喷蜡野�br/>		g	0.1~0.35	0.1~0.35
加热盘温控范図�/td>		ℂ�/td>	60~180	60~180
上蜡厚度TTV		um	�?	�?
喷蜡重复定位精度		mm	±0.05	±0.05
喷蜡精度		g	±0.02	±0.02
加压气缸		Kg	500~1000	500~1000
设备尺寸（W x D x H（�/td>		mm	1350x1350x1700	1550x1550x1900
设备重量		Kg	�?00	�?000