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深圳市梦启半导体装备有限公司
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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
单工位减薄机
半自动上蜡机
磨抛朹/a>
产品简今/div>
设备优势
高精度,高转速,高刚性,无污染,低振动,低热膨胀且回转速度变动小,零磨损,高寿命、/p>
采用刚性微孔材料做为气浮块,主轴精度,寿命,透气性,稳定性处于主轴类产品的世界前列、/p>
得益于多年从事研磨行业的背景和技术实力,在超精密加工主轴转子及其它精密零部件上更专业,更好的延长转子寿命和提升主轴精度、/p>
性能参数
参数名称 | 单位 | DL-ES |
规格 | mm | Φ80 / Φ110 / Φ160 / Φ200 / Φ240 / Φ300 |
空气压力 | MPa | 0.5~0.7 |
同心?/td> | mm | ?.001 |
端面跳动?/td> | mm | ?.001 |
主轴转逞/td> | RPM | 2000~8000 |
注:本产品型号可根据客户实际要求定制,欢迎咨询! |
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