认证信息
高级会员
1平/div> 称：
深圳市梦启半导体装备有限公司
证：工商信息已核宝br /> 访问量：2446
证：工商信息已核宝br /> 访问量：2446
手机网站
扫一扫，手机访问更轻杽/div>
产品分类
半导体行业专用仪?/a>
单工位减薄机
半自动上蜡机
磨抛朹/a>
产品简今/div>
性能参数
| 参数名称 | 单位 | DL-GD3002A-X | |
| 晶圆尺寸 | in | 兼容Ø4''/Ø6''/Ø8''/Ø12''＇span style="color: inherit; font-size: inherit; font-family: inherit;">Φ100mm~Φ300mm（/span> | |
| 研磨方式 | - | 晶圆旋转进给磨削 |
|
| 砂轮直径 | mm | Ø250/Ø300金刚石砂?/span> | |
| 主轴 |
额定功率 |
KW | 5.5/7.5/12.3 |
| 额定转逞/td> | RPM | 3000 | |
| 磨削精度 | 片间厚度变化 |
um | ≤? |
| TTV | um | ? | |
| 表面粗糙度Ra | um | 0.15?2000（/td> | |
| 设备尺寸（W x D x H（/td> | mm | 1650x1945x2135 | |
| 设备重量 | KG | ?500 | |
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类