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广东大族半导体装备科技有限公司
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产品分类
切割朹/a>
精密激光切割机
Mini LED专用切割设备
其他
全自动晶圆ID打标设备
光学仪器及设夆/a>
半导体行业专用仪?/a>
紧凑型涂胶显影机
标准型涂胶显影机
测量/计量仪器
切片设备
焊接设备
产品简今/div>
主要特点9/span>
1、高精度:针对半导体行业的高精度设计
2、自动校准:搭载自动对焦、自动对准、刀痕识别及崩边检测等图像处理功能
3、对向式主轴?.2KW?0000rpm,大功率,直流轴,多种切割模式可选,并配有更方便的数据管理和日志管理,随时监控生产状冴/span>
4、全自动集成:全自动上下料、对准、切割、清洗、无人化值守,并可远程监控完戏/span>
主要参数:
主轴 | 转逞span style="margin: 0px; padding: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;">rpm | 10000-60000 | 对准系统 | 照明光源 | 同轴+环形 |
输出功率kw | 2.2/2.4 | 镜头放大倍率 | 6X+0.8X | ||
X轳/td> | 有效行程mm | 500 | 显示?/td> | 17寸触摸屏 | |
划切速度mm/s | 0.01-600 | 操作系统 | 控制系统 | GALIL运动控制占/td> | |
Y轳/td> | 有效行程mm | Max315 | 操作系统 | Windows7 | |
单步精度mm | 0.001/5 | 语言 | 中文 | ||
累积误差mm | 0.003/315 | 加工尺寸 | 工作尺寸 | MaxØ12″或?00X300 | |
Z轳/td> | 有效行程mm | Max30 | 圆形工作?/td> | MaxØ12′/td> | |
重复定位精度mm | 0.001 | 方形工作?/td> | 300mmX300mm | ||
**刀具尺寷span style="margin: 0px; padding: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;">mm | Ø58 | 电源 | 电源 | 三相AC380V±10% | |
T轳/td> | 转角范围deg | Max380 | 气源 | 压缩空气压力 | 0.5-0.7Mpa |
重复定位精度deg | ±0.001 | 压缩空气耗气野/td> | 500L/min | ||
功能 | 自动对准 | 标配 | 水源 | 切割水流野/td> | 11.0L/min |
刀痕自动检浊/td> | 标配 | 主轴冷却水流野/td> | 4.0L/min | ||
位置自动修正 | 标配 | 外形尺寸 | 体积mm | 1260x1780x1950 | |
NCS测高 | 选配 | 净里span style="margin: 0px; padding: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;">kg | ?100 |
加工效果9/span>
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广东大族半导体装备科技有限公司官方展台田a href="//www.znpla.com/">中国粉体罐/a>设计制作,工商信息已核实、br /> 公司地址:广州市南沙区新广三?3号平谦工业园E栊br />
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