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杰莱特（苏州）精密仪器有限公号/b>
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型号：IBSV-1030 特点：a)基板垂直放置，水平监控；b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子?*距离；c)基板?2吋? ;d)靶材：两靶或三靶可更换；e)多光路监控。f)工件夹具?2吋工艺参数：1）真空系统a)极限真空度：4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用时 10 Pa：≦ 10 分钟c)漏率?.0×10-5Pa m3/s 2）控制精度a)靶材旋转?.005°b)工件旋转: <1000RPMc)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/revd)膜厚修正板：0.005°e)挡板: position switch3）光学监控系统OMSa) 波长范围?80nm?650nmb) 光源稳定 :白光< 0.1%，激?lt; 0.02%c) 波长分辨玆 白光0.2nm，激?.1nmd) 波长准确? 白光0.2nm ，激?.1nm
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