型号：IBSV-1030

特点９�/span>

a)基板垂直放置，水平监控；

b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子�?*距离：�/span>

c)基板�?2吋�? ;

d)靶材：两靶或三靶可更换；

e)多光路监控、�/span>

f)工件夹具�?2吊�/span>