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杰莱特(苏州)精密仪器有限公号/b>
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型号:IBSH-1030 特点9/span> 1、基板水平放置,垂直监控:/span> 2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制; 3、基板:12吋? 6吋?:/span> 4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换; 5、多光路监控、/span> 6、无膜厚分布修正松/span> |
型号:IBSH-1030 特点9/span> 1、基板水平放置,垂直监控:/span> 2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制; 3、基板:12吋? 6吋?:/span> 4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换; 5、多光路监控、/span> 6、无膜厚分布修正松/span> |
型号:IBSH-1030 特点9/span> 1、基板水平放置,垂直监控:/span> 2、靶材左右移动,位置和速度可编程控制; 3、基板:12吋? 6吋?:/span> 4、靶材:两靶,三靶或四靶可更换; 5、多光路监控、/span> 6、无膜厚分布修正松/span> |
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