特点９�/span>

1、基板水平放置，垂直监控：�/span>

2、靶材左右移动，位置和速度可编程控制；

3、基板：12吋�? � 6吋�?：�/span>

4、靶材：两靶，三靶或四靶可更换；

5、多光路监控、�/span>

6、无膜厚分布修正松�/span>