工艺参数９�br/>

一，真空系绞�/span>

1、极限真空度�?.0×10-5Pa

2、抽�?0Pa所用时间：� 10 分钟

3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1、靶材旋转：0.005°

2、工件旋�?<1000RPM

3、编码器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板�?.005°

5、挡松� position switch