d)膜厚修正板：0.005°

e)挡板: position switch

3）光学监控系统OMS

a) 波长范围�?80nm�?650nm

b) 光源稳定�?nbsp;:白光< 0.1%，激�?lt; 0.02%

c) 波长分辨玆� 白光0.2nm，激�?.1nm

d) 波长准确�? 白光0.2nm ，激�?.1nm