2）控制精�?/span>

a)靶材旋转�?.005°

b)工件旋转: <1000RPM

c)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/rev

d)膜厚修正板：0.005°

e)挡板: position switch

3）光学监控系统OMS

a) 波长范围�?80nm�?650nm