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杰莱特（苏州）精密仪器有限公号/b>
证：工商信息已核宝br /> 访问量：4833
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产品简今/div>
型号：IBSH-1030 特点９/span> 1、基板水平放置，垂直监控：/span> 2、靶材左右移动，位置和速度可编程控制； 3、基板：12吋? 6吋?：/span> 4、靶材：两靶，三靶或四靶可更换； 5、多光路监控、/span> 6、无膜厚分布修正松/span> |
工艺参数９br/> 一，真空系绞/span> 1、极限真空度?.0×10-5Pa 2、抽?0Pa所用时间： 10 分钟 3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec 二，控制精度 1、靶材旋转：0.005° 2、工件旋?<1000RPM 3、编码器: 12000lines;480000Counts/rev 4、膜厚修正板?.005° 5、挡松 position switch 三，光学监控系统OMS 1、波长范围：380nm?650nm 2、光源稳定 :白光< 0.1%，激?lt; 0.02% 3、波长分辨率: 白光0.2nm，激?.1nm 4、波长准确度: 白光0.2nm ，激?.1nm |
杰莱特拥?*的真空镀膜技术，已申请多项zhuanli。产品类型包括离子溅射镀膜机、电子枪蒸发镀膜机、高精度光学监控系统等，同时承揽镀膜机设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务、/p>
杰莱特拥?*的真空镀膜技术，已申请多项zhuanli。产品类型包括离子溅射镀膜机、电子枪蒸发镀膜机、高精度光学监控系统等，同时承揽镀膜机设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务、/p>
杰莱特拥?*的真空镀膜技术，已申请多项zhuanli。产品类型包括离子溅射镀膜机、电子枪蒸发镀膜机、高精度光学监控系统等，同时承揽镀膜机设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务、/p>
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