参考价栻/p>面议
型号
SAB9500-半自 超原子束抛光朹/span>品牌
青禾晶元产地
天津样本
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SAB9500是一款半自动的超原子束抛光机,可利用超原子束?-12寸晶圆或不规则样品进行超精密表面抛光,可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金刚石、LN、LT、光学晶体等、/p>
2-12寸及不规则样品兼容晶圆尺寷/p>
项目
指标
晶圆尺寸
2-12寸及不规则样?/p>
上料模式
手动上下斘/p>
传输系统
手动/定制工装
去除效率
60keV?00 Å*cm2/s@SiO2
20keV ?0 Å*cm2/s@SiO2
支持工艺气体
Ar/SF6/O2/He或其他混合气佒/p>
束流强度
?00μA @Ar
束斑尺寸
半高?lt;10mm
暂无数据