参考价栻/p>面议
型号
SAB9510-半自 超原子束TRIM朹/span>品牌
青禾晶元产地
天津样本
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SAB9510是一款全自动的超原子束表面TRIM机,可通过Cassette自动上下料,适用于半导体薄膜超精密TRIM批量化生产、/p>
项目
指标
晶圆尺寸
4-12寷/p>
上料模式
Cassette自动上下斘/p>
晶圆校准
Aligner
去除效率
800 Å*cm²/s @Si
支持工艺气体
NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合气佒/p>
束流强度
?00μA @Ar
束斑尺寸
半高?lt;5mm
离子能量
60kev
暂无数据