认证信息
称：
江苏容道社半导体设备科技有限公司
证：工商信息已核宝br /> 访问量：7018
手机网站
扫一扫，手机访问更轻杽/div>
产品分类
产品简今/div>
产品特点
适用于宽2000mm以内玻璃片的显影清洗工艺：/p>
产品主机由上料单元、显影单元、清洗单元、风干单元、下料单元组成；
设备支持SEMI GEM标准：/p>
采用多种安全保障措施和安全装置；
采用电脑自动控制系统,工艺菜单可根据需求进行修改并可保存多个菜单，工艺全过程直观、全面显示，互动性强：/p>
系统控制全面、抗干扰性强、可靠性高、维修方便，具有故障提示和安全报警功能；
设备运行稳定、可靠、集成度高，结构合理紧凑，操作方便；
可根据客户工艺制程特殊需求进行定制化服务、/p>
功能简今/span> |
规格与说昍/span> |
晶片尺寸 |
?500mm?000mm以内 |
设备产能 |
依工艺条件而定 |
衬底材质 |
玻璃 |
适用工艺 |
G-line |
应用领域 |
大尺寸显屎/span> |
FFU |
配置FFU洁净系统 确保洁净度达栆/span> |
电机 |
采用高精度伺服电朹/span> |
显影 |
配置高压喷射装置 （压力可根据制程要求设置（/span> |
清洗喷嘴 |
采用星状分布喷嘴 |
风干 |
配置正反面自研风刀式干燥氮气吹扫， 效率更高 |
流量讠/span> |
按客户工艺要求选配 |
控制系统 |
工控机?nbsp;17“触摸屏 （可按客户需求配置） |
操作系统 |
WINDOWS、图形化人机界面、可编程 |
通讯与信息化 |
以太网、配有SECS/GEM适配模块、提供现场通讯对接 |
厂务 |
标配水、电、气、液I/O接口 |
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类