应用领域

� 适用各类掩膜版（9�?7�?5吋）

� 适用各类石英�?炉管

� 适用于各类花�?零部仵�/p>

� 依客户需求定刵�/p>

产品优势

� 清洗药液独立控制，无交叉污染

� 喷嘴药液流量精确控制系统

� 自动换液，补涱�/p>

� 加热控制，浓度控制，流量控制，压力控制，过温保护，漏液检知等