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江苏容道社半导体设备科技有限公司
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产品简今/div>
产品参数 |
|
可处理基片尺寷/p> |
?00mm |
转速范図/p> |
20-10000rpm |
转速分辨率 |
1rpm |
加速度可调范围 |
20-50000rpm/s |
单步时长 |
?000s |
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