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江苏容道社半导体设备科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
产品参数 |
|
可处理基片尺寷/p> |
?00mm |
转速范図/p> |
20-5000rpm |
转速分辨率 |
1rpm |
加速度可调范围 |
20-10000rpm/s |
单步时长 |
?000s |
均匀性数?/span> |
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4寸晶 片内?nbsp;±0.58% 片间?nbsp;±0.20% 膜厚?nbsp;1470nm 胶液?nbsp;AZ1500(20CP) |
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6寸晶 片内?nbsp;±0.72% 片间?nbsp;±0.89% 膜厚?nbsp;1320nm 胶液?nbsp;AZ1500(20CP) |
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8寸晶 片内?nbsp;±0.60% 片间?nbsp;± 1.32% 膜厚?nbsp;2260nm 胶液?nbsp;AZ1500(20CP) |
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12寸晶 片内?nbsp;± 1.10% 片间?nbsp;±0.68% 膜厚?nbsp;490nm 胶液?nbsp;AZ1500(4.4CP) |
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