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江苏容道社半导体设备科技有限公司
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产品简今/div>
关键性能参数 |
公司产品 （RPA-600（/span> |
分辨玆/span> |
1.5μm |
数值孔徃/span> |
0.158 |
曝光波长 |
i ?65nm ,h ?05nm?nbsp;,g ?36nm（/span> |
掩模版尺寷/span> |
5/6/7吊/span> |
wafer尺寸 |
4/5/6吊/span> |
产率 （Throughput（/span> |
100WPH |
对准精度 |
3σ 0.6 μm |
焦深 （DOF（/span> |
6-8μm |
光强均匀?/span> |
<3% |
占地面积 |
<4m2 |
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