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江苏容道社半导体设备科技有限公司
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产品简今/div>
产品参数 |
|
可处理基片尺寷/p> |
?00mm |
转速范図/p> |
20-10000rpm |
转速分辨率 |
1rpm |
加速度可调范围 |
20-50000rpm/s |
单步时长 |
?000s |
均匀性数?/span> |
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4寸晶 片内?nbsp;±0.48% 片间?nbsp;±0.52% 膜厚?nbsp;500nm 胶液?nbsp;RZJ304稀? ?0CP) |
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6寸晶 片内?nbsp;±0.71% 片间?nbsp;±0.90% 膜厚?nbsp;1300nm 胶液?nbsp;AZ1500(20CP) |
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8寸晶 片内?nbsp;±0.90% 片间?nbsp;± 1.08% 膜厚?nbsp;1350nm 胶液?nbsp;AZ1500(20CP) |
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可编?00?00步程?更多可扩屔/p> |
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标配10mm ?5mm ?英寸三种直径规格真空载物盘， 按需定制载物盗/p> |
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四路自动点胶端口,可升级多路自动点胶功胼/p> |
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产品说明
镜面不锈钢外壳，进口耐腐蚀材质内腔
工业机设计，PLC控制?寸全彩触屏操佛br style="box-sizing: border-box;"/> 高精度伺服电机驱动，高精度、高重复?br style="box-sizing: border-box;"/> 带正反转功能
模块化设计，可实现不同功能模块的自由定制
可添加背部清洗和去边胶功能，满足工业机应?br style="box-sizing: border-box;"/> 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能定制
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