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苏州苏大维格科技集团股份有限公司
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关键特?/h4>
STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设备，基于STORM 3000的技术积累及成功经验，在光学成像、算法、算力等方面进一步提升，可满足更高制程的Mask制造；支持PSM、Binary 掩模检测，适配 ArF KrF对应的技术节点、/p>
应用场景
为Mask shop及晶圆制造提供高效的Reticle检测方桇/p>
关键特?/h4>
基于深紫外DUV激光的超高分辨率光学系绞/p>
支持反射光、透射光同时检浊/p>
支持DD、SL、DB检测模弎/p>
支持RSP 150/200片盒
支持GDS、OASIS、MEBES文件格式
支持OPC图形检浊/p>
支持GPU分布式计箖/p>
基于深紫外DUV激光的超高分辨率光学系绞/p>
支持反射光、透射光同时检浊/p>
支持DD、SL、DB检测模弎/p>
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