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产品分类
测量/计量仪器
MiScan 高效混合直写光刻系统
半导体行业专用仪?/a>
iGrapher 大型紫外直写光刻系统
Microlab 科研型多功能直写光刻系统
FlexAligner-P350套准纳米压印光刻
FlexAligner-R500套准纳米压印光刻
Vortex 2000晶圆半自动光学关键尺寸及套刻测量设备
光学仪器及设夆/a>
产品简今/div>
STORM 2000SLH是维普针对于大尺寸Mask开发的缺陷检测设备，适用于LCD、TFT、CF、Touch Panel等大尺寸Mask光刻后的图形缺陷检测。采用先进的光学成像与软件系统，可支持DB、DD、SL等检测模式，针对大尺寸Mask shop客户，具备高精度、高效率、易使用等重大优势、/p>
为G8.5及以下尺寸的Mask，提供高效的表面缺陷检测方案，满足0.5um的缺陷检测能力、/p>
关键特?/strong>
**支持8.5代面板尺寷/p>
支持Loader自动上下片，支持与AGV对接
自适应支持多种规格的基板尺寷/p>
支持DD、DB、SL检测模弎/p>
支持双光学头扫描，极大提高检测效玆/p>
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- MiScan 高效混合直写光刻系统
- STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设夆/a>
- Vortex 2000晶圆半自动光学关键尺寸及套刻测量设备