STORM 2000SLV是维普针对于大尺寸Mask 基板开发的缺陷检测设备，适用于抛光板、铬板、均胶板中颗粒、针孔、脏污的检测。采用先进的光学系统，通过一次扫描可完成颗粒、针孔的识别检测。针对Mask Blank基板厂商，具备高精度、高效率、易使用等重大优势、�/p>

关键特�?br/>

可兼容RSP200、Nikon Case、水晶盒的开盒与自动上下松�/p>

基于明场+暗场的检测方弎�/p>

pellicle面、glass面、膜框内外部检测区域可灵活设置