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苏州苏大维格科技集团股份有限公司
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关键特?/h4>
STORM 3000U是维普新一代针对IC Mask基板缺陷检测产品，基于已被认可的STORM 3000平台架构，在光学成像、传输及缓存进行相应的优化、以提升易用性及降低设备成本。适用于Mask Blank基板生产、出货及Mask shop来料检测需求，针对200nm检测精度，具有高效率、易使用、低成本等重大优势、/p>
应用场景
为IC Mask基板制造、IC Mask shop来料检测提供高效、低成本的检测方案、/p>
关键特?/h4>
基于激光的超高分辨率光学系绞/p>
支持SMIF Pod自动上下斘/p>
支持颗粒、划伤、针孔、脏污检浊/p>
支持自动Review及缺陷分籺/p>
支持抛光板、铬板及匀胶后检浊/p>
支持基板自动分级及缓字/p>
基于激光的超高分辨率光学系绞/p>
支持SMIF Pod自动上下斘/p>
支持颗粒、划伤、针孔、脏污检浊/p>
支持自动Review及缺陷分籺/p>
支持抛光板、铬板及匀胶后检浊/p>
支持基板自动分级及缓字/p>
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