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产品分类
测量/计量仪器
MiScan 高效混合直写光刻系统
半导体行业专用仪?/a>
iGrapher 大型紫外直写光刻系统
Microlab 科研型多功能直写光刻系统
FlexAligner-P350套准纳米压印光刻
FlexAligner-R500套准纳米压印光刻
Vortex 2000晶圆半自动光学关键尺寸及套刻测量设备
光学仪器及设夆/a>
产品简今/div>
技术特炸/p>
压印模式：辊对平压印，UV压印固化 365nm紫外光LED （/p>
运行模式：单片压印，自动脱模
对位精度：套准精 5-10um
压印结构?0nm-50um
压印面积?00*200（FlexAligner-P200（300*300（FlexAligner-P350（/p>
子模类型：柔性透明模具（FlexAligner-P200（金属模具（FlexAligner-P350（/p>
衬底类型：玻?amp;硅片（FlexAligner-P200（ 柔性卷材（FlexAligner-P350（/p>
应用领域：大面积光波导、光场成像、衍射光栅、微透镜阵列、薄膜透镜?/p>
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