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产品分类
测量/计量仪器
MiScan 高效混合直写光刻系统
半导体行业专用仪?/a>
iGrapher 大型紫外直写光刻系统
Microlab 科研型多功能直写光刻系统
FlexAligner-P350套准纳米压印光刻
FlexAligner-R500套准纳米压印光刻
Vortex 2000晶圆半自动光学关键尺寸及套刻测量设备
光学仪器及设夆/a>
产品简今/div>
技术特炸/h4>
技术特炸/h4>
采用DPSSL 355nm光源
支持8-130英寸幅面
超高精密系统
高精度环控系绞/p>
主动式隔振系绞/p>
高精度气浮运动平?/p>
高速图形化
频闪平铺光斑曝光
3D导航自动聚焦
采用DPSSL 355nm光源
支持8-130英寸幅面
超高精密系统
高精度环控系绞/p>
主动式隔振系绞/p>
高精度气浮运动平?/p>
高速图形化
频闪平铺光斑曝光
3D导航自动聚焦
规格参数
* 具体指标因工艺差异有所不同
应用示例
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- MiPrinter 连续生长3D微纳打印系绞/a>
- Vortex 2000晶圆半自动光学关键尺寸及套刻测量设备
- Microlab 科研型多功能直写光刻系统
- Tornado 2000晶圆全自动光学检测设夆/a>
- Nanocrystal 大幅面纳米光刺/a>
- Multi-μ 3DPrinter 高保真微?D打印系绞/a>
- 光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems
- iGrapher 大型紫外直写光刻系统
- FlexAligner-R500套准纳米压印光刻
- Tornado 2100套刻测量设备
- Tornado 3000晶圆全自动光学检测设夆/a>
- FPD Mask缺陷检浊/a>
- IRIS-530双表面颗粒检测设夆/a>
- FlexAligner-P350套准纳米压印光刻
- STORM 2000SLH缺陷检测设夆/a>
- STORM 3000®是维普第三代IC Mask缺陷检浊/a>
- MiScan 高效混合直写光刻系统
- STORM 3000U基板缺陷检测设夆/a>
- STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设夆/a>