www.188betkr.com 讯金刚石是已知自然界中最硬的物质,因其优异的热、电、力学性能被广泛应用于半导体及电子器件、切削与钻探材料、光学材料以及珠宝首饰材料。人造金刚石是通过人工模拟天然金刚石结晶条件和生长环境采用科学方法合成出来的金刚石晶体,其合成方法主要为高温高压法(HTHP)和化学气相沉积法(CVD)。
(1)高温高压法
高温高压法是较为传统的一种合成方法。该技术在高温高压环境下,利用碳源和金刚石晶种作为原料,在金刚石稳定的高温高压区域内,形成新的金刚石晶体。高温高压法合成的金刚石具有较高的净度和颜色级别。
HPHT反应器示意图
(2)化学气相沉积法
CVD法基本原理是利用气态的碳源,在较低压力的条件下通过化学反应生成金刚石薄层。CVD法可以精确控制碳源气体的组成比例,从而合成出氮含量极低的高纯金刚石。在多次叠加生长后可以形成厚度达5-7mm的金刚石大单晶片。微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法作为一种常用的沉积金刚石的方法,具有无极放电、生长速率快、产物杂质较少等优点,成为理想的生长金刚石的方法。
MPCVD设备结构示意图
人造金刚石规模化生产制造过程中,包含多个精细的工序处理与品质控制,金刚石生长培育过程需要维持适合的温度,温度过高过低时都会直接影响到金刚石的纯度,而现有技术中常常是通过传感器检测生长设备腔体内的温度,并手动进行调节控制温度,十分不便,当设备内温度异常时,无法及时获知并处理,无法保证金刚石的正常培育。
北京同洲维普科技有限公司,是一家从事工业温控设备,集研发、生产、销售和服务为一体的企业。公司经过十几年的自主产品研发、产品的升级迭代,形成了较为完备的技术体系,其中包括8套电子控制系统,8类制冷换热技术,6种温度控制技术,7套载冷剂循环体系。集成不同技术可形成制冷量从100W到300kW制冷量、温度范围从-90℃到250℃、控温精度±0.01℃的各类温控设备、热管理系统以及热能测控系统。公司针对金刚石生长行业的特殊需求,研发了一系列高性能冷水机,采用先进的制冷换热技术和智能控制系统,为长晶设备提供稳定、可靠、节能的温控解决方案。
2025年11月5日,www.188betkr.com 将在河南?郑州举办“2025半导体行业用金刚石材料技术大会”。届时,来自北京同洲维普科技有限公司销售总监孙楠将带来《金刚石生长行业温控解决方案》的报告。
个人简历
孙楠,北京同洲维普科技有限公司销售总监,长期从事制冷设备的销售工作,对制冷设备的应用行业及场景有深入的研究,善于根据客户的不同需求,提出贴合客户应用场景且能够兼顾实用性、可靠性、经济性的解决方案。
参考来源:
北京同洲维普科技有限公司
王艳丰等:MPCVD单晶金刚石生长及其电子器件研究进展
赵刚等:金刚石晶体生长研究进展
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