装机功率９/p>-
处理量：
-分级效率９/p>-
分级细度９/p>-
工作原理９/p>卧式
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Sorter-200A非接触厚度自动分选机
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设备功能（Function（/p>
設备使用高精度共聚焦传感器实现对wafer的厚度测量。适用材料包括碳化硅、砷化镓、硅片、锗片、蓝宝石、陶瓷板、板玻璃、蓝玻璃、石英等。可按照不同厚度值或者不同点位厚度进行分档、/p>
外形尺寸（Outline Demension（/p>
设备外形尺寸（高*?厚）?500*1400*1300(mm)
设备重量?00KG
环境要求（Enviroment（/p>
洁净度：标准万级厂房
电源?20V/50HZ/10A
功率：≦1.5KW
气源：使用超净工业压缩空气或氮气（Φ8mm管径（/p>
气压：≥0.5MPA
用气量：4M³/H
性能指标(Specification)
参数（Parameter（/p> |
数值（Value（/p> |
精度(Accuracy) |
±0.5μm |
重复精度（Repeatability（/p> |
0.25μm |
可测量晶片尺寸（Part Range（/p> |
4"/6"/8" |
厚度范围（Thickness Range（/p> |
100~1500μm |
测试速度（Measurment Speed（/p> |
100Ps/H |
模式选择(Mode Selection)
标准5点或任意自定义多点测量，可以通过以太网连接企业服务器用于接收、传送及存储数据、/p>
测试界面（Test Interface（/p>
查询结果（Query Results（/p>
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
