半导体行业专用仪?/p>
TRAN-200A型自动导片机
国产半导体行业专用仪?/p>
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功能实现(Function(/p>
本机机械手臂可以搬运晶片,也可以通过手臂翻将晶圆上下表面翻转180度,然后依据上游已经测试的数据和工艺要求把来料cassette中的晶片放入相应cassette进行分类。该机可以通过选装模组扩展功能、/p>
使用范围(Scope of Application)
基本型:4in?in
加强型:12in
工位数量(Number of Cassette)
基本垊 6?/p>
加强垊 3?/p>
搬运速度(Output)
?00片(基础搬运(/p>
选装(Optional(/p>
OCR识别
Aligner校准?/p>
暂无数据
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