建筑工程仪器
LST-300S型共焦半自动平整度测试仪
国产建筑工程仪器
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性能参数(Specification)
Parameter |
Value |
分辨率（Z axis Resolution（/p> |
0.02μm |
传感器重复性（Repeatability（/p> |
0.20μm |
测量精度（Accuracy（/p> |
±0.5μm（双抛片（/p> |
测量点数（Measured Data Points（/p> |
400~10000 |
厚度精度（Thickness（/p> |
±0.5μm（双抛片（/p> |
Mapping50/ 12英寸速度(Speed) |
10 Minuts/P（米字模式） |
结果界面(Result Interface)
硬件组成(Hardware Composition)
本机由光源系统、运动平台系统、机械支撑系统、控制及计算系统四部分构成、/p>
暂无数据
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