【原创】王曦院士:深耕产业化,让科研成果扎根产业土壤


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[导读]王曦院士为中国半导体技术的发展及成果转化倾注心力,成就斐然

www.188betkr.com 讯王曦,材料科学家,博士,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员,2009年当选为中国科学院院士。1966年8月生于上海,籍贯江苏南通。1987年毕业于清华大学工程物理系,1990年、1993年先后获中国科学院上海冶金研究所(现上海微系统与信息技术研究所)硕士、博士学位。

绝缘体上硅(SOI)技术被称为“二十一世纪的硅集成电路技术”,王曦1987年从清华大学工程物理系毕业后,一直从事相关研究,可谓三十年磨一剑。说到这一技术,王曦打了个比方:“这就像是三明治,在两层硅的中间,包裹着一层二氧化硅。”最上面的硅既要薄,还要均匀。

SOI技术的精度要求堪称极致,12英寸硅片的均匀度,相当于从巴黎到上海的飞行距离中,振动幅度不能超过1.5厘米。正是这样严苛的标准,让SOI晶圆片成为解决航天电子器件难题的关键。空间辐射曾是卫星"大脑"的致命威胁,如同潜伏的"脑血栓",而王曦团队研发的国际一流SOI晶圆片,为卫星装上了"防护盾"。2016年2月,搭载该技术芯片的新一代北斗导航卫星成功发射,标志着我国在航天电子材料领域实现重大突破。

突破12英寸大硅片瓶颈,前瞻布局多项芯片前沿技术

在2017年以前,我国集成电路产业长期受困于大尺寸硅片依赖进口的瓶颈,每年集成电路进口花费超2000亿美元,远超原油进口额,而每月消耗的几十万块硅片中,自主供给仅占少数,尤其是12英寸大硅片。

2013年,王曦与中芯国际创始人张汝京博士共同建言,推动上海启动12英寸大硅片研发。2014年6月,上海新昇科技有限公司成立,仅用一年多就完成厂房建设与设备安装。2016年,国内第一根12英寸高质量晶棒在这里诞生,2017年下半年,大硅片实现量产,年销量近10万片,为我国摆脱大尺寸硅片进口依赖迈出关键一步。

在前沿技术布局上,王曦的眼光总能穿透暂时的迷雾。2008年,当多数人对硅光子技术持观望态度时,他力排众议坚定投入,如今该平台已成为国际上第三个专用硅光子工艺平台,在光通讯、无人驾驶等领域展现巨大潜力。针对物联网传感器薄弱环节,他推动成立专注传感器芯片的矽睿公司;为破解成果转化"中试死结",国内首条全球领先的8英寸"超越摩尔"研发中试线应运而生;面对存储器涨价风波,他又前瞻性布局下一代磁存储器芯片技术。

王曦院士手捧着8英寸硅片 来源:清华大学工程物理系

深耕科技成果产业化,走出科研转化特色路

“我不算疯狂科学家,相比基础研究,我更擅长产业化。”王曦的这句话,道出了他与众不同的科研路径。在他看来,实验室的成果只有扎根产业土壤,才能真正实现价值。

上海微技术工业研究院的创建过程,正是这种理念的生动实践。当初,团队在是否采用企业化运作模式上陷入纠结,事业单位模式能轻松解决经费问题,而企业化路径充满未知。王曦却说,“要跨越科技成果转化的死亡之谷,必须走新路径。”如今,这个研究院已建成产业加速生态链,成为上海全球科创中心首个启动的研发与转化功能型平台,85%的收入来自产业化,其模式已在全国推广。

来源:上海微技术工业研究院官网

二十年来,王曦带领团队创造了一个又一个产业化奇迹。2001年,他带着6位博士用1300万元起家创办新傲公司,如今其市值已达13亿元,增长百倍;2014年全球硅片产业陷入低谷,他为新昇融资四处奔走,如今该公司月产数万片300mm硅片;2020年,他又力邀美国MEMC电子材料公司前首席执行官Nabeel Gareeb加盟上海硅产业投资有限公司,彰显其全球视野与魄力。

从“过门不入到董事席”,见证中国半导体产业崛起之路

王曦感慨道:”中国的蓬勃发展,成就了我们的传奇。”当年,为了推销SOI晶圆片,他带着团队找到法国Soitec公司,却连大门都进不去,只能在公司门口合影留念,如今,他已端坐于该公司的董事席。这种身份的转变,折射出中国半导体产业的崛起之路。

王曦说:“以前是无知无畏,现在虽有困难,但看到了方向,更有激情。”过往的成就早已被他归零,新的征途正在脚下延伸。这位始终保持激情的探索者,正以归零的心态,在半导体产业的星辰大海中,继续书写属于中国的创新传奇。

参考来源:

科学时报《青年人才成长故事系列报道之一:王曦》

清华大学工程物理系、上海微技术工业研究院官网

(www.188betkr.com 编辑整理/月明)

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